반도체 8대공정 직무훈련 XR콘텐츠 (VR/MR)

반도체 8대공정 직무훈련 XR콘텐츠 (VR/MR)

IMXR® 반도체 직무훈련 XR 콘텐츠


·  반도체 공정을 가상으로 완벽히 재현하다 : 삼우이머션 XR 콘텐츠의 혁신적 학습 경험!
    삼우이머션은 반도체 제조 공정의 핵심인 8대 공정을 실감형 XR 콘텐츠로 구현해 학습과 훈련의 새로운 차원을 열어갑니다.

NO8대 공정콘텐츠명장비콘텐츠 내용
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08대공정 뷰어반도체 8대 공정 견학
 MR 콘텐츠
반도체 장비 13종클린룸에 실제 사이즈와 동일한 1:1 스케일의 모델링을 미니어처 타입으로 변환 / 테이블 위에 놓여진 반도체 8대 공정 장비를
한 눈에 확인 가능하며, 공정의 전체 흐름과 장비를 학습
1웨이퍼 제조 공정
웨이퍼 제조 공정엣지 그라인더
(Edge Grinder)
웨이퍼 제조 과정을 퀴즈로 학습
2산화공정---
3포토공정노광공정노광장비포토공정의 노광 공정 오퍼레이션 프로세스를 숙지하여
웨이퍼 노광 작업 절차를 학습


패턴형상측정장비패턴형상측정기패턴형상 측정 장비를 이용하여 웨이퍼 표면 형상을 관찰 및
검사하는 방법을 학습
Lithography 공정Mask Aligner
Hot Plate
Spin Coater
Microscope
Spin coater, Hot Plate, Alinger, Microscope을 이용하여
리소그래피 공정 절차 학습
4식각공정식각공정PCMC플라즈마 공정장치의 운영 방법을 숙지하고, 캐소드 플라즈마를 적용한 코팅공정과 애노드 플라즈마를 적용한 식각 공정을 학습
Dry Etcher
Shower Head Change
Dry EtcherPE-RIE장비에서 가스불량으로 인한 unifomrity 불량이
발생하여 새로 설계된 shower head로 부품 교체를 실시 후
장비의 이상유무까지 체크하는 유지보수 과정 학습
5증착 & 이온공정RF Sputter 공정RF SputterRF Sputter 구동 원리와 플라즈마를 통해
박막을 증착시킬 수 있는 공정 과정 학습

Sputter System
Target Change & Chamber Cleaning
Plasma Sputtering박막 증착 시스템인 플라즈마 스퍼터링(Plasma Sputtering)
공정 장비 운영에 있어 정기적 PM을 Metal Target

Furnace System
Tube Change
SP CVD Furnace박막 증착 시스템인 LP CVD Furnace 공정 장비 운영에 있어서 정기적 PM으로 Tube 분해 조립하는 절차 학습
6금속배선공정---
7EDS 공정반도체 검사기반도체 검사기반도체 검사기를 이용한 반도체 검사 과정 운영 및
정기적 유지보수 절차 학습
8패키징공정---
9세정 공정플라즈마 세정 장비플라즈마 세정 장비플라즈마를 이용한 반도체 세정 공정 장비 운영에 있어서
작동 방식 및 정기적 유지 보수 절차 학습
10기타클린룸 사용 및
안전사고 발생 대응

안전보호구 착용, 화학물질 안전관리 방법과
폐시약 폐기를 위한 절차 및 수행 방법


  • 웨이퍼 제조: 실리콘 잉곳을 절단하여 둥근 웨이퍼를 제작합니다.

  • 산화웨이퍼 표면에 실리콘 산화막을 형성합니다.

  • 포토: 빛을 이용해 웨이퍼 위에 반도체 회로를 새깁니다.

  • 식각: 회로 패턴을 제외한 나머지 산화막을 제거합니다.

  • 증착 & 이온 주입: 얇은 막을 형성하고, 전기적 특성을 부여하기 위해 이온을 주입합니다.

  • 금속 배선: 회로 패턴을 따라 전기 신호가 흐를 수 있도록 금속 배선을 연결합니다.

  • 테스트 (EDS): 웨이퍼에 있는 각각의 칩(다이)을 검사하여 불량품을 선별합니다.

  • 패키징: 웨이퍼상의 칩을 개별적으로 절단하고 보호막을 씌워 반도체를 완성합니다.


·  삼우이머션의 반도체 솔루션: VR·MR로 구현한 미래 기술 교육!
  • 현실감 높은 모델링: 몰입감과 학습 효과를 극대화하는 고품질 모델링 제공. 
  • 데이터 기반 피드백: 맞춤형 학습 지원으로 효율적 학습 가능 .
  • 자원 절감실제 장비 없이 학습 반복 가능, 비용과 시간 절약.


·  반도체 솔루션 ㅣ VR 콘텐츠 (Virtual Reality, 가상현실) 

  • 몰입감 극대화 : 360도 시야와 3D 오디오로 완전한 가상 환경 구현.
  • 반복 학습 최적화 : 시간과 장소 제약 없이 안전한 환경에서 공정 절차 반복 학습.
  • 고해상도 시각 효과 : 실제 공정을 기반으로 한 고품질 모델링과 텍스처 활용.
  • 위험 제거 : 실제 위험 공정을 안전하게 재현하여 학습 가능.
  • 사용자 친화적 설계 : 직관적 UI·UX로 공정 절차와 작업 흐름 학습 지원.
- 3D 모델링으로 현실감 있는 가상 환경 구현
클린룸 실제 사진
클린룸 3D 모델링
현실과 유사한 가상의 환경 상황을 구현하여 사용자가 마치 실제 환경에서 상호작용하고 있는 것처럼 느낄 수 있도록 
시각, 청각적으로 생생한 효과를 제공합니다.


·  반도체 솔루션 ㅣ MR 콘텐츠 (Mirtual Reality, 혼합현실) 

  • 가상과 현실 통합Pass-Through 카메라와 실시간 렌더링 기술로 실제 환경과 가상 오브젝트 간 자연스러운 상호작용 구현.
  • 실시간 상호작용물리적 피드백을 통해 장비 조작 경험을 현실적으로 재현.
  • 정확한 공간 매핑 : SLAM 기술로 환경을 정밀 인식, 장비 동작과 위치 동기화.
  • 학습 지원위험 요소를 포함한 시뮬레이션으로 안전하고 몰입감 있는 학습 제공.
- 고급렌더링과 오브젝트와의 상호작용으로 가상과 현실의 조화
실시간 환경 인식 및 고급 렌더링 기능
3D 오브젝트와 상호작용


패스스루 카메라를 통해 실시간으로 주변환경을 고품질로 렌더링하여 실제와 가상현실을 매끄럽게 융합하여
실감 나고 상호작용이 풍부한 경험을 제공합니다.

현실 환경에서 가상 오브젝트와의 자연스러운 상호작용 가능하여 현실감 있고 직관적인 경험을 제공합니다.
실제 환경 위에 놓여진 가상 장비를 조작함으로 물리적 세계와 디지털 콘텐츠 간의 경계가 사라지는 혁신적인 경험을 체험할 수 있습니다.


·  현실을 넘어선 몰입감, 최적화로 완성된 삼우이머션 반도체 XR 콘텐츠의 특별함!


1. 실사 기반 고품질 모델링과 최적화 기술을 통한 최적의 퍼포먼스

삼우이머션의 특허 기술을 바탕으로 실사에 가까운 고해상도 모델링을 구현하여 교육생의 몰입감을 극대화합니다. 또한 콘텐츠 사용 시 발생할 수 있는 지연 속도를 최적화하여 사용자 경험을 최우선으로 고려한 콘텐츠를 제작합니다.


2. 실환경 맞춤 라이트환경 적용

실제 환경과 동일한 라이팅 환경을 구현하여 모델링에 적용하였습니다.  Lithography 공정의 경우 옐로우룸에서 진행되는 공정으로 노란 불빛이 모델링에 적용되어 있음을 확인할 수 있습니다.

실제 환경VR환경MR환경



·  최고의 교육 효율, 혁신적 설계로 완성된 반도체 학습 솔루션 : IMXR 콘텐츠 기획


절차 교육 훈련 대응 자사 표준화 Framework(IMBuilder-B) 적용

XR기반 사용자 중심의 UI·UX 설계를 통해 실제 공정 절차와 동일한 상호작용을 제공하여 체험 효과를 극대화합니다. 나레이션, 자막, 그리고 공정 과정에 대한 이론적 설명을 통해 학습자의 반도체 공정 절차에 대한 이해도를 높입니다.

체험 효과 극대화   실제 공정 절차와 유사한 상호작용을 제공하여 교육생이 더욱 현실감 있게 학습할 수 있습니다.
이해도 향상   나레이션, 자막, 이론적 설명을 통해 복잡한 반도체 공정 절차를 쉽게 이해하고 습득할 수 있습니다.
사용자 친화적   사용자 중심의 직관적인 UI·UX로 편리한 학습 환경을 제공하며, 교육 효과를 최대화합니다.
효율적인 학습   체계화된 기획 절차를 통해 콘텐츠가 구조적으로 잘 조직되어 있어 학습 목표에 쉽게 도달할 수 있습니다.




웨이퍼 제조 공정 절차 학습
포토공정 ㅣ 노광공정
포토공정 ㅣ 패턴형상측정기포토공정 ㅣLithography 공정 진행
식각공정
식각공정 ㅣ Dry Etcher
증착 & 이온공정 ㅣ  Sputter System Target Change & Chamber Cleaning
 Furnace system tube change
EDS 공정 ㅣ  반도체검사 공정 장비 운영
세정 공정 ㅣ  플라즈마 세정장비
클린룸 사용 및 안전사고 발생 대응


·  성공적인 구축사례로 입증된 삼우이머션의 반도체 교육 혁신을 만나보세요   * 사진 클릭 시 각 구축사례로 이동
성균관대학교
대림대학교
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