반도체 8대 공정 : 포토공정, 식각공정
IMXR® 반도체 직무훈련 VR 콘텐츠
산업 패러다임 변화와 시장의 변동에 맞춰 차세대 반도체 맞춤형 교육 환경 개선이 필요합니다. IMXR 직무훈련 반도체 공정 콘텐츠는 가상의 공간에서 시간과 장소 등 별도의 제한 없이 반도체 장비의 공정에 대한 반복적이고 체계적인 직무 훈련 교육이 가능한 콘텐츠입니다. 현실과 유사한 가상의 환경 상황을 구현하여 사용자가 마치 실제 환경에서 상호작용하고 있는 것처럼 느낄 수 있도록 시각, 청각적으로 생생한 효과를 제공합니다.
콘텐츠 구성
증착&이온 공정에 속하는 RF Sputter 공정과 포토공정에 속하는 Lithography 공정 프로세스를 실제 공정 프로세스와 동일하게 교육 절차를 체험합니다. 이를 통해 학습자들은 RF Sputter 공정과 Lithography 공정 과정을 숙지하고 공정에 사용되는 장비에 친숙화하여 실무 능력을 향상시킵니다.
· 이온&증착 공정 : RF Sputter 공정 프로세스
RF Sputter 구동 원리와 Sputter Target 교체를 통해서 많은 종류의 박막을 증착시킬 수 있는 공정
RF Sputter 장비를 이용하여 플라즈마 금 박막 증착 과정을 학습
· 포토공정 : Lithography 공정 프로세스
웨이퍼에 위에 빛을 형성하여 패턴 형성하는 포토 리소그래피 공정에 대해 알아보고
HMDS Coating, PR Coating, Baking , Mask Align&Exposure, Development, Inspection 절차를 학습
특징
· 실사 기반 고품질 모델링 : 모바일 기반 고품질 Mesh, Texture 최적화
삼우이머션의 특허 기술을 바탕으로 실사에 가까운 고해상도 모델링을 구현하여 교육생의 몰입감을 극대화합니다. 또한 콘텐츠 사용 시 발생할 수 있는 지연 속도를 최적화하여 사용자 경험을 최우선으로 고려한 콘텐츠를 제작합니다.
RF Sputter |
실제 사진 | 3D 모델링 |
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Lithography |
실제 사진 | 3D 모델링 |
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· 절차 교육 훈련 대응 자사 표준화 Framework(IMBuilder-B) 적용
사용자 중심의 UI·UX 설계를 통해 실제 공정 절차와 동일한 상호작용을 제공하여 체험 효과를 극대화합니다. 나레이션, 자막, 그리고 공정 과정에 대한 이론적 설명을 통해 학습자의 반도체 공정 절차에 대한 이해도를 높입니다.
| 체험 효과 극대화 | 실제 공정 절차와 유사한 상호작용을 제공하여 교육생이 더욱 현실감 있게 학습할 수 있습니다. |
| 이해도 향상 | 나레이션, 자막, 이론적 설명을 통해 복잡한 반도체 공정 절차를 쉽게 이해하고 습득할 수 있습니다. |
| 사용자 친화적 | 사용자 중심의 직관적인 UI·UX로 편리한 학습 환경을 제공하며, 교육 효과를 최대화합니다. |
| 효율적인 학습 | 체계화된 기획 절차를 통해 콘텐츠가 구조적으로 잘 조직되어 있어 학습 목표에 쉽게 도달할 수 있습니다. |
· VR 교육·훈련 장비 통합 관리 프로그램 공급
통합 제어 시스템 환경을 구축하여 교육 콘텐츠 선택 및 동시 제어의 편의성을 제공합니다. 강사는 시나리오를 원격으로 실행하고, 클라이언트(교육생)의 상태 정보를 실시간으로 확인하며 교육생들의 훈련을 효율적으로 관리 및 제어할 수 있습니다.
| 중앙화된 관리 | 교육 콘텐츠와 시나리오를 한 곳에서 통합 관리해 교육 준비와 실행이 효율적으로 이루어집니다. |
| 실시간 모니터링 | 교육생의 상태를 실시간으로 확인하고 피드백을 즉각 제공할 수 있습니다. |
| 효율적인 시나리오 실행 | 여러 교육생을 동시에 관리하며 동일한 교육 경험을 제공할 수 있습니다. |
| 시간 및 자원 절약 | 자동화된 관리 시스템을 통해 교육 준비 시간을 절감하고 자원을 효율적으로 활용할 수 있습니다. |
| 교육 품질 향상 | 맞춤형 피드백과 즉각적인 조치를 통해 학습 효과를 극대화할 수 있습니다. |
| 유연성과 확장성 | 교육 콘텐츠를 손쉽게 추가·수정할 수 있으며, 교육생 수에 따라 시스템을 확장할 수 있습니다. |
콘텐츠 기획 요소
· NCS 및 산업안전 교육 시나리오에 활용되는 체계적인 기획 절차를 기반으로
교육 효과를 극대화하고, 높은 몰입감을 유도
· 반도체 8대공정 절차 시나리오 구성
웨이퍼 제조: 실리콘 잉곳을 절단하여 둥근 웨이퍼를 제작합니다.
산화: 웨이퍼 표면에 실리콘 산화막을 형성합니다.
포토: 빛을 이용해 웨이퍼 위에 반도체 회로를 새깁니다.
식각: 회로 패턴을 제외한 나머지 산화막을 제거합니다.
증착 & 이온 주입: 얇은 막을 형성하고, 전기적 특성을 부여하기 위해 이온을 주입합니다.
금속 배선: 회로 패턴을 따라 전기 신호가 흐를 수 있도록 금속 배선을 연결합니다.
테스트 (EDS): 웨이퍼에 있는 각각의 칩(다이)을 검사하여 불량품을 선별합니다.
패키징: 웨이퍼상의 칩을 개별적으로 절단하고 보호막을 씌워 반도체를 완성합니다.
콘텐츠 권장 사양 및 스펙
사용처 l 
반도체 8대 공정 : 포토공정, 식각공정
IMXR® 반도체 직무훈련 VR 콘텐츠
산업 패러다임 변화와 시장의 변동에 맞춰 차세대 반도체 맞춤형 교육 환경 개선이 필요합니다. IMXR 직무훈련 반도체 공정 콘텐츠는 가상의 공간에서 시간과 장소 등 별도의 제한 없이 반도체 장비의 공정에 대한 반복적이고 체계적인 직무 훈련 교육이 가능한 콘텐츠입니다. 현실과 유사한 가상의 환경 상황을 구현하여 사용자가 마치 실제 환경에서 상호작용하고 있는 것처럼 느낄 수 있도록 시각, 청각적으로 생생한 효과를 제공합니다.
증착&이온 공정에 속하는 RF Sputter 공정과 포토공정에 속하는 Lithography 공정 프로세스를 실제 공정 프로세스와 동일하게 교육 절차를 체험합니다. 이를 통해 학습자들은 RF Sputter 공정과 Lithography 공정 과정을 숙지하고 공정에 사용되는 장비에 친숙화하여 실무 능력을 향상시킵니다.
· 이온&증착 공정 : RF Sputter 공정 프로세스
RF Sputter 구동 원리와 Sputter Target 교체를 통해서 많은 종류의 박막을 증착시킬 수 있는 공정
RF Sputter 장비를 이용하여 플라즈마 금 박막 증착 과정을 학습
· 포토공정 : Lithography 공정 프로세스
웨이퍼에 위에 빛을 형성하여 패턴 형성하는 포토 리소그래피 공정에 대해 알아보고
HMDS Coating, PR Coating, Baking , Mask Align&Exposure, Development, Inspection 절차를 학습
· 실사 기반 고품질 모델링 : 모바일 기반 고품질 Mesh, Texture 최적화
삼우이머션의 특허 기술을 바탕으로 실사에 가까운 고해상도 모델링을 구현하여 교육생의 몰입감을 극대화합니다. 또한 콘텐츠 사용 시 발생할 수 있는 지연 속도를 최적화하여 사용자 경험을 최우선으로 고려한 콘텐츠를 제작합니다.
· 절차 교육 훈련 대응 자사 표준화 Framework(IMBuilder-B) 적용
사용자 중심의 UI·UX 설계를 통해 실제 공정 절차와 동일한 상호작용을 제공하여 체험 효과를 극대화합니다. 나레이션, 자막, 그리고 공정 과정에 대한 이론적 설명을 통해 학습자의 반도체 공정 절차에 대한 이해도를 높입니다.
· VR 교육·훈련 장비 통합 관리 프로그램 공급
통합 제어 시스템 환경을 구축하여 교육 콘텐츠 선택 및 동시 제어의 편의성을 제공합니다. 강사는 시나리오를 원격으로 실행하고, 클라이언트(교육생)의 상태 정보를 실시간으로 확인하며 교육생들의 훈련을 효율적으로 관리 및 제어할 수 있습니다.
· NCS 및 산업안전 교육 시나리오에 활용되는 체계적인 기획 절차를 기반으로
교육 효과를 극대화하고, 높은 몰입감을 유도
· 반도체 8대공정 절차 시나리오 구성
웨이퍼 제조: 실리콘 잉곳을 절단하여 둥근 웨이퍼를 제작합니다.
산화: 웨이퍼 표면에 실리콘 산화막을 형성합니다.
포토: 빛을 이용해 웨이퍼 위에 반도체 회로를 새깁니다.
식각: 회로 패턴을 제외한 나머지 산화막을 제거합니다.
증착 & 이온 주입: 얇은 막을 형성하고, 전기적 특성을 부여하기 위해 이온을 주입합니다.
금속 배선: 회로 패턴을 따라 전기 신호가 흐를 수 있도록 금속 배선을 연결합니다.
테스트 (EDS): 웨이퍼에 있는 각각의 칩(다이)을 검사하여 불량품을 선별합니다.
패키징: 웨이퍼상의 칩을 개별적으로 절단하고 보호막을 씌워 반도체를 완성합니다.
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